采购内容:飞秒激光三维打印系统;主要功能或目标:可以以100纳米线宽精度加工三维立体微纳器件,可加工亚微米精度的三维微纳结构(如三维微格架结构、三维微纳立柱阵列结构、三维微纳拓扑表面结构),用于人工智能超材料的定向开发工作(如可控电化学响应类生物智能装置、吸波材料或仿生型超疏水表面等)。需满足的需求:整机包括中心波长为780 nm、重复频率为80MHz的光纤飞秒脉冲激光器,最大扫描面积达到?=1 mm,最快扫描速度可达100mm/s的二维扫描振镜,重复精度误差≤±10nm的纳米位移台,可以实时观测加工过程的高精度显微镜相机。主要技术指标:横向线宽可达100nm;二维平面可加工范围可达100mm x 100mm;横向最佳分辨率可达500nm;具备振镜扫描模式,振镜扫描速度可达100mm/s;具备自动探测材料与衬底界面的功能,探测精度可达30nm;能够直接以PDMS为材料加工柔性结构;能够直接以熔融石英玻璃为材料加工微结构;能够直接以水凝胶为材料加工微结构;需满足的要求:所提供产品满足采购清单要求,不得缺项;所提供产品技术参数及配置满足本项目相关需求。