| 项目名称 | 高效镀膜设备用靶枪和电源 | 项目编号 | XF-WSBX-****** |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | 2025-06-25 11:43:07 | 公示截止日期 | 2025-07-02 13:00:00 |
| 采购单位 | ******大学 | 付款方式 | 货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后90个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后90个工作日内 |
| 预算 | ￥ 460,000 | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
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| 收货地址 | 玉泉校区微电子楼超净实验室108 | ||
采购清单1
| 采购物品 | 是否允许进口 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|---|
| 磁控溅射靶枪 | 否 | 5 | 台 | 电子工业生产设备 |
| 品牌 | Kurt Lesker | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | TMK2SFANC | ||
| 预算 | ￥ 51,000 | ||
| 技术参数 | 五支溅射靶枪，靶材尺寸为2英寸圆形靶，厚度为2毫米至6.35毫米，磁吸式安装；磁极露在真空内，可便捷普通磁极和强磁极；靶头具有折弯功能，可调节角度±45°；配有气动紧凑式圆顶溅射源挡板，并且气动挡板执行机构在真空腔体内；靶枪最低工作压强可达0.5mTorr；靶头内部采用全金属密封，满足超高真空应用；电气连接接口为N型连接件-母型。 | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; | ||
采购清单2
| 采购物品 | 是否允许进口 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|---|
| 自动电源靶枪切换器 | 否 | 1 | 台 | 电子工业生产设备 |
| 品牌 | Kurt Lesker | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | ******-4 | ||
| 预算 | ￥ 60,000 | ||
| 技术参数 | 一套靶枪-电源自动切换器，配置两个输入端口(同时输入直流和射频电源，并且同时输入时互不影响，射频通道带滤波功能)和四个输出端口，每个输出端口可兼容直流电源和射频电源的输出。输入和输出端口均为标准HN型或者UHF接口，带有DB15针通讯控制接口。 | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; | ||
采购清单3
| 采购物品 | 是否允许进口 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|---|
| 磁控溅射直流电源 | 否 | 1 | 台 | 电子工业生产设备 |
| 品牌 | Kurt Lesker | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | PD500X1 | ||
| 预算 | ￥ 57,000 | ||
| 技术参数 | 一台功率500W的直流电源。电源外形高度不超过1.75英寸，最高电压不低于1000V，最大输出电流不低于2A。功率系数> 0.98，打弧检测时间＜100 nsecs，显示精度：满量程的+/- 1%；外形具有标准机柜安装尺寸，19英寸X18.25英寸X1.75英寸。 | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; | ||
采购清单4
| 采购物品 | 是否允许进口 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|---|
| 磁控溅射射频电源 | 否 | 1 | 台 | 电子工业生产设备 |
| 品牌 | Kurt Lesker | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | RF03A22XX300 | ||
| 预算 | ￥ 88,000 | ||
| 技术参数 | 一台功率为300W的RF电源，带有自动匹配器和控制器。射频频率为13.56MHz。射频电源输出功率的精度优于满量程的+/-1%或者读数的+/-3%，电源长时间输出稳定性优于+/-0.5%。输出接头N型，风冷冷却；射频电源为半个19英寸电控柜安装尺寸，带有标准19英寸电控柜安装配件，可以和控制器并排安装到标准电控柜内。外形尺寸Network 5英寸HX9英寸WX15英寸D；Controller外形尺寸3.5英寸HX9.5英寸WX12.8英寸D;Generator外形5.25英寸HX9.5英寸WX18.35英寸D。 | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; | ||
******大学
2025-06-25 11:43:07
